Trikloorisilaani

Trikloorisilaani (TCS, SiHCl3, CAS 10025-78-2) on väritön, erittäin haihtuva neste, jolla on terävä, tukehtuva kloorivedyn haju. Se kiehuu 31,8 asteessa ja reagoi kiivaasti kosteuden kanssa. Se on Siemens-prosessin tärkein raaka-aine, jonka avulla valmistetaan erittäin{10}}puhdasta polypiitä aurinkokennoihin ja puolijohdekiekoihin. TCS:ää käytetään laajalti myös piikiekkojen kasvatuksessa, organopiin synteesissä (silikoniöljyt, kumit, hartsit, kytkentäaineet), CVD-piin ohutkalvopinnoituksessa ja selektiivisenä pelkistimenä orgaanisessa synteesissä. Saatavana teollisuuslaatuisena (suurempi tai yhtä suuri kuin 99,0 %) ja elektroniikkalaatuisena (puhtausaste 9N asti). Luokiteltu veden kanssa reagoivaksi ja helposti syttyväksi (UN 1295, luokka 4.3+2.3, PG I), erittäin laajalla räjähdysalueella 1,2–90,5 %; käsitellä vain täysin vedettömissä olosuhteissa kuivatyppisuojauksella.